يمكن ضمان الأداء الأمثل للعملية من خلال المراقبة المستمرة لحالة المادة المعلقة. ويساعد ذلك على تلبية متطلبات النقاء ودقة المزج الأكثر صرامة للمواد المعلقة من الجيل التالي.
لا تزال المواد المعلقة الحديثة غير محددة بدقة وتتطلب ضبطًا دقيقًا لعمليات محددة، وهو ما أصبح ممكنًا بفضل بيانات أجهزة الاستشعار المتقدمة. وقد تحسنت اتساق عملية تصنيع الرقائق بشكل ملحوظ بفضل المعلومات الآنية والتشغيل الآلي.
يساهم التحسين المستمر للزوجة/الكثافة في تقليل تكلفة امتلاك عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي والمواد الاستهلاكية
غالباً ما يرتبط التلميع الكيميائي الميكانيكي للأسطح بعملية التسوية الكيميائية الميكانيكية، وهي عملية إزالة مواد السطح عن طريق التفاعل الكيميائي. يُعدّ التلميع الكيميائي الميكانيكي عملية تصنيع قياسية في صناعة أشباه الموصلات لتصنيع الدوائر المتكاملة وأقراص الذاكرة.
يتم استخدام مادة معلقة تحتوي بشكل أساسي على ماء نقي، ومادة كيميائية، وجزيئات تلميع مختلفة بين وسادة التلميع والرقاقة.
تعتمد صناعة أشباه الموصلات بشكل أساسي على الإنتاج بكميات كبيرة والحفاظ على رقابة صارمة على الجودة طوال مراحل الإنتاج. في عمليات الطباعة متعددة الأقنعة، تحدد مواد التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) نسيج السطح الذي تُرسب عليه الطبقات اللاحقة. تتطلب المكونات الإلكترونية ذات الأبعاد الأصغر عمليات تلميع كيميائي ميكانيكي أكثر تطورًا. هدف العميل هو الحصول على رقائق مسطحة وناعمة ومصقولة.
مع انخفاض الحد الأدنى لأحجام المكونات إلى أقل من 10 نانومتر، أصبحت مواصفات العيوب على مستوى الرقاقة أكثر صرامة. ونتيجة لذلك، أصبحت عمليات التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) أكثر تعقيدًا، كما أصبحت معايير جودة المعجون أكثر دقة. ورغم إمكانية التحكم الدقيق في المعجون عند نقطة التصنيع، إلا أن العمليات اللاحقة، كالنقل والمناولة والخلط والترشيح والتوزيع على الوسادة، قد تُغير خصائصه الكيميائية (مثل التأثير على المؤكسدات أو الإضافات). وقد يؤثر تغيير هذه المعايير على أداء العملية، ويساهم في ظهور عيوب على مستوى الرقاقة، مما يؤثر بدوره على إنتاجية الوحدة. ولمنع هذه الآثار غير المرغوب فيها، يجب مراقبة الخصائص الكيميائية للمعجون باستمرار عند نقطة الاستخدام.
توفر معلومات لزوجة وكثافة الملاط رؤى أساسية لتقييم تشتت الجسيمات في معلقات التلميع الكيميائي الميكانيكي بسبب العلاقة القائمة بين اللزوجة وحجم الجسيماتيوفر معلومات أساسية لمساعدة مصممي التركيبات على التكيف مع متطلباتهم الفردية.
تعتمد قوامة الملاط على كلٍ من المكونات الكيميائية والميكانيكية. يجب أن يتميز هذا الملاط بتوزيع ضيق ومتجانس لأحجام الجسيمات، وكثافة متجانسة للمواد الصلبة. يشير تغير الكثافة إلى عدم تجانس الملاط، مما يؤثر على عملية إزالة الشوائب أثناء التلميع. يمكن إزالة التكتلات والجسيمات الكبيرة بواسطة المرشحات في الخلاط، لكن تقلبات الكثافة أكثر خطورة. من الممكن أن تستوفي جسيمات الملاط المواصفات المطلوبة وتمر عبر المرشحات. عادةً ما يُشحن الملاط مركزًا، ثم يُخفف بالماء أو بيروكسيد الهيدروجين في المصنع. قد تكون كثافة الملاط في قاع الخزان أو البرميل أعلى بسبب عدم كفاية الخلط. في البداية، تعتمد جودة المواد الواردة إلى أداة التلميع الكيميائي الميكانيكي على ممارسات المصنع بالإضافة إلى الخلط والتخزين في الموقع. يضمن رصد كثافة الملاط وصول المزيج المناسب إلى أدوات المعالجة.
أصبح قياس الكثافة الطريقة الشائعة لمراقبة المواد الطينية الواردة. تشير الاختلافات في الكثافة إلى عدم تجانس المادة الطينية (أي، احتمال وجود تركيز أعلى من الجسيمات الكبيرة في أي وقت معين)، مما قد يؤثر على معدل الإزالة ويؤدي إلى عيوب.
قيود المعايير الأخرى:
يُعد قياس اللزوجة والتحكم الآلي في خط الإنتاج أمرًا بالغ الأهمية للتحكم في اللزوجة أثناء عملية التصنيع وضمان توافق الخصائص الحرجة تمامًا مع المتطلبات عبر دفعات متعددة، دون الحاجة إلى الاعتماد على طرق القياس غير المتصلة بالإنترنت وتقنيات أخذ العينات. Rheonics تقدم الحلول التالية للتحكم في العمليات وتحسينها،
Rheonics يقدم حلاً متكاملاً جاهزاً للاستخدام لإدارة الجودة يتكون من:
يقع مستشعر SRV في خط الإنتاج، لذا فهو يقيس اللزوجة (والكثافة في حالة SRD) باستمرار. يمكن ضبط التنبيهات لإخطار المشغل بالإجراء اللازم، أو يمكن أتمتة عملية الإدارة بالكامل. RPTC (Rheonics وحدة التحكم في التتبع التنبؤييؤدي استخدام صمام إعادة تدوير الغاز في خط إنتاج التصنيع إلى تحسين الإنتاجية وهوامش الربح وتحقيق الامتثال التنظيمي. Rheonics تتميز هذه الحساسات بحجمها الصغير الذي يسهل تركيبها من قِبل الشركات المصنعة الأصلية أو عند تحديث الأنظمة القائمة. وهي لا تتطلب أي صيانة أو إعادة تهيئة. توفر هذه الحساسات نتائج دقيقة وقابلة للتكرار بغض النظر عن طريقة أو مكان تركيبها، دون الحاجة إلى حجرات خاصة أو أختام مطاطية أو حماية ميكانيكية. وبفضل عدم استخدامها لأي مواد استهلاكية وعدم حاجتها إلى إعادة معايرة، فإن حساسات SRV وSRD سهلة التشغيل للغاية، مما يؤدي إلى انخفاض تكاليف التشغيل على المدى الطويل بشكل كبير.
بمجرد تهيئة بيئة العملية، لا يتطلب الأمر عادةً سوى القليل من الجهد للحفاظ على سلامة الأنظمة وتناسقها - إذ يمكن للمشغلين الاعتماد على التحكم الدقيق مع Rheonics حلول إدارة جودة الإنتاج.
تُعدّ الإلكترونيات المتطورة الحاصلة على براءة اختراع بمثابة عقل هذه المستشعرات. يتوفر كل من SRV وSRD بوصلات عملية قياسية في الصناعة مثل ¾ بوصة NPT وDIN 11851 والشفة. Tri-clamp يسمح للمشغلين باستبدال مستشعر درجة الحرارة الحالي في خط المعالجة الخاص بهم بـ SRV/SRD مما يوفر معلومات قيمة وقابلة للتنفيذ للغاية عن سائل المعالجة مثل اللزوجة بالإضافة إلى قياس دقيق لدرجة الحرارة باستخدام Pt1000 المدمج (DIN EN 60751 الفئة AA، A، B متوفرة).
تتوفر إلكترونيات المستشعر في كل من غلاف جهاز الإرسال وحامل سكة DIN صغير الحجم، مما يتيح سهولة دمجها في خطوط الإنتاج وداخل خزائن معدات الآلات.
إن استخدام طرق اتصال تناظرية ورقمية متعددة في إلكترونيات المستشعرات يجعل الاتصال بأنظمة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة الصناعية وأنظمة التحكم أمرًا بسيطًا وسهلاً.
خيارات الاتصال التناظري والرقمي
خيارات الاتصال الرقمي الاختيارية
Rheonics تُقدّم الشركة أجهزة استشعار آمنة بطبيعتها، حاصلة على شهادات ATEX وIECEx، للاستخدام في البيئات الخطرة. وتتوافق هذه الأجهزة مع متطلبات الصحة والسلامة الأساسية المتعلقة بتصميم وبناء المعدات وأنظمة الحماية المُخصصة للاستخدام في الأجواء القابلة للانفجار.
الشهادات التي تحملها جهاتٌ تتمتع بالأمان الجوهري ومقاومة الانفجار Rheonics كما يتيح ذلك تخصيص المستشعرات الموجودة، مما يوفر على عملائنا الوقت والتكاليف المرتبطة بتحديد واختبار بديل. ويمكن توفير مستشعرات مخصصة للتطبيقات التي تتطلب وحدة واحدة أو آلاف الوحدات، مع فترات تسليم تتراوح بين أسابيع وأشهر.
قم بتثبيت المستشعر مباشرةً في مسار العملية لإجراء قياسات فورية للزوجة والكثافة. لا حاجة لخط جانبي: يمكن غمر المستشعر مباشرةً في المسار؛ ولا يؤثر معدل التدفق أو الاهتزازات على استقرار القياس ودقته. حسّن أداء الخلط من خلال إجراء اختبارات متكررة ومتتالية ومتسقة على السائل.
مواقع مراقبة الجودة المباشرة
الأجهزة/المستشعرات
SRV مقياس اللزوجة أو SRD لزيادة الكثافة
Rheonics تصمم وتصنع وتسوق أنظمة استشعار ومراقبة السوائل المبتكرة. مصنعة بدقة في سويسرا. Rheonicsتتميز مقاييس اللزوجة ومقاييس الكثافة المدمجة بالحساسية المطلوبة للتطبيق والموثوقية اللازمة للعمل في بيئات قاسية. نتائج ثابتة حتى في ظل ظروف التدفق المعاكسة، دون أي تأثير لانخفاض الضغط أو معدل التدفق. وهي مناسبة تمامًا لقياسات مراقبة الجودة في المختبر، دون الحاجة إلى تغيير أي مكون أو معيار للقياس عبر النطاق الكامل.
يشكل الغبار القابل للاشتعال خطراً كبيراً لحدوث انفجارات في مختلف الصناعات مثل صناعة الأغذية والمواد الكيميائية والتعدين...
تُعد لزوجة المادة اللاصقة المنصهرة بالحرارة خاصية بالغة الأهمية، لأنها تؤثر بشكل مباشر على قدرتها على...
في صناعة البطاريات، تلعب اللزوجة والكثافة دورًا حاسمًا في تحقيق جودة متسقة للمادة اللزجة،...
التذرية هي عملية تُستخدم لتفتيت السائل إلى قطرات دقيقة، وعادةً ما تتم...
